Verbesserung von Defekt-Engineering Methoden
Was wir darunter verstehen
Frühzeitiges Erkennen von Prozessproblemen und proaktives Gegensteuern gewährleistet geringste Reklamationsraten.
Wie wir es tun
Wir erarbeiten durch Methoden wie Sampling, Entwicklung von Messstrategien, Defekt- zu Yield Korrelationen, Defekt Reportings, Erarbeitung von Defektkatalogen, statistische Analysen von Defektdaten im Zusammenhang mit den in Ihrem Produktionsumfeld anfallenden Daten die richtige und effektivste Herangehensweise für Sie und sorgen für eine nachhaltige Nutzung in Ihrer Organisation.
- Workshops
- Coaching
- Bestandsanalyse (IST/Soll)
- Konzeptentwicklung
- Produktausbeute- und Zuverlässigkeitsoptimieurng
- Defekt Engineering
- Prozesskontrollmethodik
- Toolmonitoring
- Kritische Prozessparameter
- Korrelationsanalysen
- Signatur- und Bild Analyse
- Machine Learning / Künstliche Intelligenz
- Datenanalyse und Reporting Anwendungen
- Yieldkorrelation und -vorhersage, andere Methoden
- Teamentwicklung
- Verankerung der Veränderung
- Unterstützung bei der Überführung in die Produktion
- Einführung neuer Methoden
- Machbarkeit (POC)
- Workflow Design
- Methoden- und Toolauswahl
- Maßgeschneiderte Lösungen
- Prototyping
Beispiel 1
Chip basierte Defekt zu Yield Korrelation
‚Contigency table‘ Methode / Berechnung von Kill Rate & Defect Related Loss
Randbedingungen
Güte der Inspektionsrezepte, Defektfilterung: große Defekte, ‚Adder‘, ‚Defect(s) of Interest‘ je Inspektionsschritt, niedriger parametrischer Yield Loss, Ausschluss von ‘low yielding wafern‘
Prozesschritt A
Kill Rate: 21%
Defect Related Loss: 3,1%
(All Binsorts)
Beispiel 2
Yield correlation with intitial large detect filters
4 weeks data, one product, standard wafer, Large defects only, special defect related binsorts used, low yielding wafer excluded
Beispiel 3
Large Defect Filter definition and optimization
Filter:
Volume > 35 & Grade > 50
New Filter:
Volume > 25 & Grade > 50
Initial definition of Large Defect filter by inspection tool raw parameters: Volume/ Grade (DF inspection), DSIZE (BF inspection)
Optimization of Large Defect filter by kill rate and defective related yield loss analysis